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        不銹鋼無塵潔凈烘箱

        ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-EHC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

        詳細介紹

        產品簡介:

        ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-EHC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

        產品特點:

        ●內膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE

        ●外殼:采用1.5mm厚 SUS304#不銹鋼,表面拉絲處理(SS41#鋼板經酸洗磷化等防銹處理后噴塑可選)

        ●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm

        ●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%

        ●壓差計:進口壓差計,監控H.E.P.A工作狀態。

        ●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5% 

        ●溫度傳感器:日制進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小

        ●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下長期穩定工作

        ●電熱發生器:覆套式無塵化電熱發生器

        ●風門調節:進口伺服電機自動風門裝置,自動控制風門開關,確保烘烤前后箱內密閉

        ●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。

        ●密封膠條:采用改性無氟硅橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性極佳

        ●支撐腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動,同時配置4只水平調整腳杯

        選配組件:

        1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現99段*99組程序控溫。

        2.測試孔:可在側面加裝Φ35mm測試孔

        3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環境不被破壞。

        4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監控記錄溫度狀況。

        5.三色指示燈:工作狀態指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。

        6.其它非標訂制:可根據客戶實際需求提供產品訂制

        EHC系列無塵潔凈烘箱規格一覽表: 

        型號

        EHC-180

        EHC-270

        EHC-480

        EHC-980

        溫度范圍

        RT(常溫)+10~200/ (可訂制250℃)

        溫度分辨率

        ±0.1

        溫度波動度

        ±0.5

        溫度偏差

        ±1.0

        溫度均勻性

        150±3          200±5

        容積

        180L

        270L

        480L

        980L

        內部尺寸

        (W×D×H)mm

        600×500×600

        600×500×900

        800×600×1000

        1400×700×1000

        外部尺寸

        (W×D×H)mm

        980×1240×1510

        980×1240×1810

        1180×1340×1910

        1950×1055×1790

        層板

        2pcs

        2pcs

        3pcs

        3pcs

        電源電壓

        AC 380V 50HZ

        加熱功率

        6KW

        10KW

        14W

        17KW

        潔凈等級

        Class10~100

        Class10~100

        Class10~100

         Class10~100

           備注:所有機型外觀尺寸僅供參考,實際尺寸以實物為準


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